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特氣產品中存在大量的高毒性，自燃性，可燃性及禁水性物質，故特氣系統安全防范措施會成為極端狀況下的最后屏障。同時，由于高成本、低使用概率的特點，也非常容易被忽視。

火焰偵測器：依據不同的火焰性質決定

煙霧報警器

溫度報警器

紅外/紫外火焰報警器

地震儀系統：

針對地震頻繁區域及危害極大的物質

閉路電視系統：

實時監控

對于劇毒物質，本系統是政府的強制要求

消防系統：依據不同的物質性質決定

柱狀水噴淋

霧狀水噴淋

CO2系統

干粉系統

蛭石系統

氣體偵測系統：依據不同的物質性質決定

電化學式

半導體式

紙帶式

紅外式

質譜式

檢知管式

觸媒燃燒式

伽凡尼電池式

排放系統

良好的風管設計及材質可靠性要求

混合排放的管理

合適的尾氣處理裝置

個人防護具及安全裝置

足部防護

手部防護

身體防護

面部防護

呼吸防護

沖身洗眼器

六氟靈，敵氟特靈等專用藥品

急救包

氣房負壓控制系統：

高階要求，可有效防止潛在泄露的無組織逸散

建筑及系統防爆要求：

針對可燃性氣房尤其重要

氣房溫度控制：

針對低壓氣體及低閃點物質的安全要求

對于低壓氣體或液體的工藝要求

對于容易發生分解或聚合的氣體的品質要求

物質兼容性要求：

不兼容的物質嚴禁混放

確保足夠的安全間距

合理的工具及設備配置

扭力扳手

氦檢儀

墊片耗材

無塵布耗材

IPA耗材

其他工具

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